Vaakummagnetroni pihustustehnika on emase bipolaarse elektroodi pinna kasutamine elektroni magnetväljaga katoodipinna triivides, seades sihtpinna elektrivälja magnetväljaga risti, suurendab elektron lööki, suurendab ionisatsiooni kiirust. gaasist, samas kui suure energiaga osakesed gaasivad ja kaotavad pärast kokkupõrget energiat ning seega alandavad substraadi temperatuuri, täielik katmine mittetemperatuurikindlale materjalile.