Alumiiniumist peegli sisemine magnetroni pihustusliin on mõeldud suure võimsusega klaaspeeglite tootmiseks.Suuremate klaaside katmiseks ja hapra klaaspaneeli eest hoolitsemiseks, eriti suurte lehtede puhul, valmistame tavaliselt horisontaalset pritsimisliini.See on pidev magnetroni katmisliin, mille eesmine ja tagumine töötlemata pumpamiskamber ning pärast üleminekukambrit, enne ja pärast peenpumpamiskambrit, puhverkamber, värvimisruum.
Sihtdisain: silindrilised magnetroni pihustuskatoodid ja/või tasapinnalised katoodid.
Toiteallikas: suure võimsusega alalisvoolu või MF magnetroni pihustamisega toiteallikas
Ajamisüsteem: rullajam, reguleeritav sagedus, induktsioontüüpi ruumiuste avamise süsteem.
Vaakumsüsteem: difusioonipump (või turbomolekulaarpump) + juurpump + mehaaniline pump
Alumiiniumpeeglisisene magnetroni pihustusliin on tavaliselt varustatud mitme vaakumkambriga, et täita klaaslehtede vaakumkatet.
Põhijooned:
1.Max.glass katte suurus: 2440x3660mm või kohandatud
2. Saadaval on mitme vaakumkambri ja mitme pihustuskambri kujundus
3. Horisontaalsel magnetilisel juhtliinil on ühe- ja kaheotsaline struktuur;klaasi topeltpuhastus, katmine, tuvastamine, värvimine, kuivatamine, jahutamine saab lõpetada korraga
4. Pihustuskatmisliin kasutab kogu protsessi juhtimiseks PLC-d ja on varustatud värvilise ekraaniga katmisprotsessi andmete kuvamiseks
Kattekiht: titaan, kroom, roostevaba teras, alumiinium, hõbe, vask jne.
Ühend: TiN, TiO2 jne.
Kihi paksus: 5-100nm
Läbilaskvus: 8-40% lainepikkustel 380-780 nm
Sadestumise temperatuur: toatemperatuur
Lõplik rõhk pärast 8-tunnist allapumpamist:
Sisendluku kamber ja vaakumlukukamber: 5 × 10-1 Pa või alla selle
Puhverkamber 1: 3 × 10-3 Pa või alla selle
Pommitamiskamber: 2 × 10-3 Pa või alla selle
Puhverkamber 2: 3 × 10-3 Pa või alla selle
Väljapääsu lukustuskamber ja vaakumluku kamber: 5 × 10-1 Pa või alla selle