Inline Magnetron Sputtering süsteem
Sisseehitatud magnetroni pihustuskattemasin on peamiselt alalisvoolu (või MF) magnetroni pihustuskatte, mida saab kohandada paljude sihtmärkidega, näiteks: vask, titaan, kroom, roostevaba teras, nikkel ja muud metallmaterjalid, mida saab katta pihustusprotsessi abil võib parandada kile adhesiooni, reprodutseeritavust, tihedust, ühtlust ja muid omadusi.
- a.Põhiomadused ja parameetrid
- b.horisontaalse joone struktuuri saab realiseerida üheaegselt kaetud ühel küljel
- c.tootmise efektiivsus, kiireimad kiirused kuni 1 min / löök
- d.modulaarne disain, lihtne hooldus
- e.plaadistusprotsessi küpsus, kõrge saagikus
- f.Alalisvoolu magnetroni pihustuskatoodid võivad sõltuvalt kliendi nõudmistest erineda
- g.vaakumsüsteem koosneb mehaanilisest pumbast, Roots pumpadest, difusioonipumpadest (molekulaarpump) Koostis
- h.Joone korpuse suurus võib sõltuvalt kliendi nõudmistest erineda
- 1) Vaakumkambri korpuse materjalides kasutati SUS304, vaakumkambri seina töötlemist, välisseina pihustuspoleerimishelmeste töötlemist.
- 2) Kasutades vaakumkambri vahel asuvat sõltumatut tõmbeventiili - klappklapi vahel, saab protsessigaasi tõhusalt katkestada ja stabiliseerida.Praegu kasutab meie ettevõte klappklapi konstruktsiooni, see tihendab paremini ja vastupidavamalt kui praegune kodumaine tavaline klappventiil.
- 3) Käigukast kasutab magnetjuhti, kaitseb ajami stabiilsust.Kogu tootmisliini iga kiiruse jaoks, kasutades VVVF mootorit, saab reguleerida töökiirust.
- 4) Elektriline juhtimissüsteem: puutetundlik ekraan ja PLC automaatjuhtimine, inimese ja masina dialoog andmete kuvamissüsteemi saavutamiseks, tööparameetrid ja juhtimistehnoloogia
- 1) Ülim vaakumrõhk: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) keskmine tootmistsükkel: vastavalt määratud tootele
- 3) Substraadihoidiku suurus: saab kohandada vastavalt nõuetele
- 4) Kile ühtlus: ± 3% arenenud mobiilse väljatehnoloogia on oluliselt parandanud sihtmärgi kasutamist
- Segmenteeritud küttekeha konstruktsioon soodustab protsessi optimeerimist.
Kirjutage oma sõnum siia ja saatke see meile
