- Üks/kaks ust
Raam ja kamber on valmistatud roostevabast süsinikterasest.
Igal uksel on protsessi visuaalseks kontrollimiseks kontrollaken.Ukseseintel on roostevabast terasest vooder, mida on lihtne hoolduseks eemaldada.
- Kohandatud vaakumkamber
Kambris on sisemised roostevabast terasest vooderdised, mida saab puhastamiseks kergesti eemaldada.
Pumbad seisavad selle tagaosas.
Kambril on mõõtmiseks rida väikeseid äärikuid.
-Kõrgvaakumpumbasüsteem
Difusioonipump+võimenduspump+mehaaniline pump
-Vaakumi mõõtmine ja juhtimine
Metallist Pirani mõõturiga+metalli ionisatsioonimõõturiga
- Kinnituste liigutamise süsteem
-PLC juhtseade
-Alumiiniumist aurustussüsteem suure võimsusega trafoga
- Rauast raam
Struktuur on mõistlik
Kilekiht on ühtlane
Kile moodustamise kvaliteet
Suur pumpamiskiirus, lühike töötsükkel ja kõrge tootmistõhusus
Operatsioon on mugav
Madal energiatarve ja stabiilne jõudlus
Mudeli number | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Saadaval on kahe ukse või kahe kambriga mudel | |
Vaakumkambri mõõtmed (läbimõõt * kõrgus) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Vaakumkambri materjal | Süsinikteras, SUS304 või SUS316L | ||||||
Töötamise tehnoloogia | vaakumkindluse aurustamine volfram- ja alumiiniumfilamentidega, suure võimsusega aurustustrafo | ||||||
Pumpamissüsteem | Difusioonipump+mehaanilised pumbad, võimenduspump | ||||||
Pumpamise aeg | Atmosfäärist kuni 5,0*10-2Pa alla 8 minuti | ||||||
Vaakumi piirmäär | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Töötemperatuur | Toatemperatuuril | ||||||
Töörežiim | Automaatne või käsitsi režiim, 10,4 tolli PLC puutetundlik ekraan | ||||||
Koguvõimsus | 40-80 kW | 70-140kW | |||||
Jalajälg | 2*2 meetrit | 2*3 meetrit | 3*3 meetrit | 3*3 meetrit | 3*4 meetrit | 4*5 meetrit | 5*6 meetrit |
Neid üksusi saate kohandada | 1. Vaakumkambri suurus 2. Pumpade konfiguratsioonid | ||||||
Valikulised instrumendid | 1. Lekkedetektor 3. Kaarioonsadestamise süsteem 4. Magntroni pihustussüsteem |